檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Chen-Hao Wang".ecommittee (精準) and cadvisor.raw="郭鴻飛"
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由於半導體的快速的發展,使晶片的功能越多且越快,在晶片高速運作下必然是 會產生大量的熱量。而目前晶片的縮小化,對於晶片散熱仍然是一個重要的課題,大 量的熱量累積在一個晶片上或是晶片上的一個部分,…
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半導體製程技術的進步促使元件結構的微縮,除了對製程技術迎來更大的挑戰,同時也需要更有效率的量測方法來驗證製程結果。關鍵尺寸(Critical dimension)量測技術是驗證製程標準的關鍵步驟。傳…